O tipo de gás desempenha um papel decisivo no estado do plasma, e afeta diretamente o método de modificação e o resultado da superfície do material polimérico pelo plasma.O tratamento de superfície por plasma geralmente usa gases não poliméricos, incluindo gases não reativos e gases reativos.

Os gases não reativos referem-se a gases inertes como He e Ar.Quando o plasma desse tipo de gás atua sobre o material, o gás inerte se origina e não se combina com a cadeia polimérica.O tratamento de superfície de plasma é para gravar a superfície e gerar radicais livres., Mas quando o material entra em contato com o ar, os radicais livres na superfície continuarão a reagir com o gás ativo no ar para produzir grupos polares.

Os gases reativos do tratamento de superfície de plasma referem-se a alguns gases inorgânicos ou compostos inorgânicos voláteis, comumente usados ​​são O2, N2, CO2, CO, H2O, NH3, SO2, etc., que são diferentes dos gases inertes não reativos.Quando o plasma de gás reativo atua no material, os átomos de gás podem se combinar com a cadeia polimérica para formar grupos funcionais relacionados.